테스트 적용 범위 | 지원 모듈 | 주요 사양 | 주요 특징 | |
DC 및 펄스형 IV 측정 |
B1510A 고전력 소싱/측정 장치 (HPSMU) |
• 최고 200 V/1A • 최소 10 fA/2 μV 분해능 |
• 최소 100 μs 샘플링 (타임 도메인) 측정 • 최소 500 μs 펄스폭과 100 μs 분해능 • 준정적 커패시턴스 전압 (QSCV) 측정 및 누설 전류 보상 |
• 4-사분면 작동 • Kelvin(4-와이어) 연결 • 스폿, 스위프, 기타 기능 |
B1511B 중전력 소싱/측정 장치 (MPSMU) |
• 최고 100 V/0.1 A • 최소 10 fA/0.5 μV 분해능 • 0.1 fA 및 IV/CV 스위칭을 위한 ASU 옵션 |
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B1517A 고분해능 소싱/측정 장치 (HRSMU) |
• 최고 100 V/0.1 A • 최소 1 fA/0.5 μV 분해능 • 0.1 fA 및 IV/CV 스위칭을 위한 ASU 옵션 |
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B1514A 50 μs 펄스 중전류 소싱/측정 장치 (MCSM U) |
최고 30 V/1 A (0.1 A DC) | • 최소 50 μs 펄스 폭과 2 μs 분해능 • 펄스형 정밀 측정을 위한 오실로스코프 뷰 |
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커패시턴스 측정 | B1520A 다중 주파수 커패시턴스 측정 장치 (MFCMU) |
• 1 kHz ~ 5 MHz 주파수 범위 • 기본 25 V DC 바이어스 (SMU와 SCUU를 사용할 경우 100 V DC 바이어스) |
• AC 임피던스 측정 (C-V, C-f, C-t) • SCUU를 통한 자동 스위칭을 바탕으로 하는 쉽고 빠르고 정확한 IV 및 CV 측정 |
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초고속 펄스형 및 Transient IV 측정 |
B1530A 파형 발생기/고속 측정장치 (WGFMU) |
• 파형 발생 시 10 ns 프로그래밍 가능 분해능 • 200 MSa/s 동시 고속 측정 • 10 V 피크 투 피크 출력 |
• 로드 라인 효과 없음, SMU 기반 기술을 활용한 정확한 펄스형 IV 측정 • NBTI/PBTI, RTN 등과 같은 고급 어플리케이션용으로 사용 가능 |
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펄스 발생 | B1525A 고전압 반도체 펄스 발생기 장치 (HV-SPGU) |
• 최고 ± 40 V 고전압 출력 | • 각 채널의 2단계 및 3단계 펄스 및 임의 파형 발생 기능 • 비휘발성 메모리 테스트에 이상적 |
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초고속 펄스형 고유전율/ SOI 평가용 |
B1542A 10 ns 펄스형 IV 파라메트릭 테스트 솔루션 |
• 2 ns의 상승, 하강 시간을 포함한 최소 10 ns의 게이트 펄스 폭 • 1 μs 전류 측정 분해능 |
• 정확한 Id-Vd 및 Id-Vg 측정 • DC 및 펄스형 측정 간 손쉬운 전환 |
제 목 | 파일 다운로드 |
[프로그램] B2900 Quick I/V Measurement Software | ZIP |
[제품 사양서] 반도체 파라메트릭 테스트 장비 B1500A 제품 사양서 | |
[동영상] 저전력 IC 테스트 동영상 | AVI |
[동영상] PZ2100 시리즈 소개 동영상 | AVI |
[제품 사양서] PZ2100 Series High-Channel Density Precision SMU Solution 제품 사양서 | |
[제품소개 동영상] Keysight B2900B Series SMU 소개 동영상 | AVI |
[제품사양서] B2900B/B2900BL Precision Source/Measure Unit | |
[어플리케이션 노트] B2900 시리즈를 이용한 광범위 저항 측정방법 | |
[동영상] Sequencing tests on Keysight B2900A SMUs using Keysight EasyEXPERT software | AVI |
[동영상] Curve tracing on Keysight B2900A SMUs using Keysight EasyEXPERT software | AVI |
[동영상] Keysight EasyEXPERT group+ Software with Keysight B2900A SMU | AVI |
IO Libraries Suite Downloads | EXE |