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PEGASUS™ S200FA-HV​
고전압프로빙을 위한 세미오토매틱 타입의 분석용 프로브 스테이션

| 파워디바이스 의 테스트 용도

• High current probing for DC and pulsed
• Kelvin sense measurements (source & chuck)
• Low CRes reverse side contact (drain/source)
• Suitable for handling thin wafers
• Low leakage/high voltage
• Safety for high current/high voltage measurements

| SPECIFICATIONS

• Voltage : 3 kV (triax), 10 kV (coax)
• Current : 200 Amps (pulsed)
• Leakage : <1 pA (3 kV)

| HV PROBE NOISE VS TEMPERATURE

• Temperature Noise
• +25°C 100 fA
• +200°C 100 fA

| 자료실

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